◆  設(shè)備用途      該設(shè)備是晶體硅太陽(yáng)電池制造過(guò)程中不可或缺的關(guān)鍵設(shè)備之一，主要用于晶體硅太陽(yáng)電池制造中硅片的擴(kuò)散摻雜與氧化工藝。◆  產(chǎn)品亮點(diǎn)1、唯一能適應(yīng)高阻高效和變濃度擴(kuò)散工藝的國(guó)產(chǎn)設(shè)備 2、領(lǐng)先國(guó)內(nèi)同行的實(shí)際擴(kuò)散均勻性3、擴(kuò)散綜合使用成本較第三代設(shè)備降低20%以上4、單位綜合能耗下降20%以上5、設(shè)備有效工作時(shí)間較第三代國(guó)產(chǎn)設(shè)備高5%以上6、適用于P型電池、N型電池、退火和低壓擴(kuò)散工藝◆  主要技術(shù)參數(shù) 

序號(hào)	指 標(biāo) 項(xiàng) 目	指  標(biāo)  值
1	工藝方式	軟著陸閉管
2	反應(yīng)管有效內(nèi)徑	ø320mm，適用于 □125mm，□156mm
3	爐管數(shù)	1管、2管、3管、4管、5管
4	生產(chǎn)能力	≥1000片/批/管
5	加熱溫度	RT～1250℃
6	工作溫度范圍	400～1100℃
7	溫度控制方式	5點(diǎn)控溫，內(nèi)外雙模控制
8	恒溫區(qū)長(zhǎng)度及精度	≤±0.5℃/1100mm（800~1100℃），≤±1℃/1100mm（400~800℃）
9	溫度穩(wěn)定性	≤±0.5℃/4h（880℃）
10	溫度斜變能力	a．最大可控升溫速率： 20℃/min.b．最大降溫速率：  8℃/min.c．RT→工藝溫度    ≤50min.
11	具有自動(dòng)斜率升溫及快速恒溫功能
12	降溫方式	立體水冷+風(fēng)冷
13	凈化裝載臺(tái)凈化方式與凈化級(jí)別	垂直層流，1000級(jí)(10000級(jí)廠(chǎng)房)，或100級(jí)（1000級(jí)廠(chǎng)房）
14	送舟方式	采用SiC懸臂槳自動(dòng)水平送片，舟速20～1000mm/min連續(xù)可調(diào)；定位精度≤±1mm；最大承載重量為18kg
15	尾氣處理方式	尾部集中收集，冷凝氣液分離后定向排放
16	氣體控制與輸送方式	MFC精確控制流量，高潔凈內(nèi)拋光不銹鋼管與PFA管輸送，氣動(dòng)隔膜閥通斷，全進(jìn)口件氣體控制與輸送系統(tǒng)
17	壓力控制方式	閉環(huán)全自動(dòng)
18	爐口環(huán)境隔離方式	氣簾掃吹技術(shù)
19	工藝過(guò)程控制	全自動(dòng)，PLC+工控機(jī)，觸摸屏操作
20	工藝管理功能	每管可存儲(chǔ)超過(guò)200條工藝曲線(xiàn)，每條曲線(xiàn)不少于30個(gè)拐點(diǎn)
21	報(bào)警保護(hù)功能	全面的超溫、斷偶、短路、停水、停氣、誤操作等報(bào)警連鎖保護(hù)
22	設(shè)備總功率	峰值功率50KW/每管；保溫功率約15KW/每管
23	設(shè)備外形尺寸	6470×1875×3275（L×W×H，mm，4管）6870×2025×3000（L×W×H，mm，5管）