全自動硅片清洗設備特點：
進口伺服驅動機構及機械手臂，清洗過程中無需人工操作。
通過PLC實現控制，全部操作通過觸摸屏界面一次完成。
可預先設制多條清洗工藝，可同時運行多條工藝。
自動化程度高，適用于批量生產，確保清洗質量的一致性。
自動氮氣鼓泡裝置可有效提高產品質量，縮短清洗時間。
可選裝層流凈化系統及自動配酸裝置。