晶體管是芯片上最主要的部分,也是提高芯片速度的關(guān)鍵。芯片制造商不斷改進(jìn)設(shè)計(jì)、縮小器件尺寸,使每平方毫米的硅片上能夠密集地排布更多器件。然而,要讓這些晶體管在更先進(jìn)的技術(shù)節(jié)點(diǎn)下可靠工作,還必須引進(jìn)新的材料和設(shè)計(jì)。
應(yīng)用材料公司開(kāi)發(fā)的創(chuàng)新制造系統(tǒng),能夠幫助客戶制作新的晶體管結(jié)構(gòu)。該結(jié)構(gòu)采用新的金屬材料,并具有類似摩天大樓般的三維結(jié)構(gòu)。
金屬柵極晶體管晶體管的心臟是它的柵極——這是發(fā)生關(guān)鍵性“通-斷”開(kāi)關(guān)的區(qū)域。在這一區(qū)域采用新金屬材料能實(shí)現(xiàn)更快、更可靠的性能。應(yīng)用材料公司開(kāi)發(fā)了一整套解決方案,使芯片制造商能夠順利地實(shí)現(xiàn)這一重要的工藝轉(zhuǎn)變。查看產(chǎn)品隱藏產(chǎn)品領(lǐng)先的芯片制造商在用更小且更密集的晶體管設(shè)計(jì)新的芯片時(shí),必須采用各種不同的材料(如新金屬和“高k”介質(zhì)),以提高芯片的開(kāi)關(guān)速度并控制漏電流。